纳尔科 NALCO 2398LMS POLISHING SLURRY Polishing Agent抛光剂 硅晶圆边缘抛光与崩边抑制技术

 

纳尔科 NALCO 2398LMS POLISHING SLURRY Polishing Agent抛光剂  硅晶圆边缘抛光与崩边抑制技术

       硅晶圆边缘易出现崩边、毛刺与倒角不均，影响后续制程良率，纳尔科 NALCO 2398LMS POLISHING SLURRY Polishing Agent抛光剂专为晶圆边缘抛光设计，高效抑制崩边。药剂纳米级硅溶胶颗粒硬度适中，配合碱性配方的化学软化作用，可温和研磨晶圆边缘，去除毛刺与崩边，同时细化倒角表面，粗糙度达 Ra＜0.5nm，提升边缘强度。纳尔科 NALCO 2398LMS POLISHING SLURRY Polishing Agent抛光剂适配 8-12 英寸硅晶圆边缘抛光，在半导体封装行业广泛应用，解决晶圆边缘崩边、毛刺导致的良率损失问题。操作时采用边缘抛光机，浓度 15%-20%，压力 2-3psi，转速 60-90rpm，软质抛光轮，减少机械冲击。